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等离子体是由带电粒子、中性粒子和光子组成,带正电荷的粒子和带负电荷的粒子的总量相等,因而总体上是电中性的。冷等离子体的特点为:1) 这种等离子体中存在着电子碰撞激发和解激发、光激发和自发辐射衰变、电子碰撞电离化和多体复合等原子过程,也存在分子离解、分解电荷交换、带电粒子中性化及基团置换等分子过程。
40.5kHz的自偏压约为1050V，山东rtr型真空等离子设备原理13.46MHz的自偏压约为250V，20MHz的自偏压低，这三种激励频率的机理不同。该反应具有两种物理性质。 20MHz有物理反应，但主要反应是化学反应。型腔材料选择：常用的型腔材料有：石英腔体、不锈钢腔体、铝合金腔体，这三种腔体各有优势：石英腔体温度低，不易反应。 ..铝型材的优点： 1.铝型材因其密度小、强度高而优于钢，并具有优良的机械加工性。
